AC米兰官网-ASML申请减少用于计算引导检查的工艺配方时间的多器件训练流程专利以改进的准确度和通用性在更短时间内生成缺陷管芯概率估计从而引导检查

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　　国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“减少用于计算引导检查的工艺配方时间的多器件训练流程”的专利，公开号CN121586867A，申请日期为2024年7月。

　　专利摘要显示，公开了一种训练计算缺陷概率模型以使用检查工具来引导检查的方法。更具体地，公开了一种对来自多个器件的输入数据进行组合，对量测数据与来自根据相同器件制造技术处理的器件的缺陷数据进行相关以训练计算缺陷概率，以及将经训练的计算缺陷概率模型应用于引导检查的方法。公开了一种计算缺陷概率预测模型，用于以改进的准确度和通用性在更短时间内生成缺陷管芯概率估计从而引导检查。

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